9月8日下午,《半导体产品制程中的污染控制及环境管理》自主创新大讲堂-星火沙龙之半导体显示行业大讲堂第4场,在深圳南山区君翔达大楼圆满举办。 深圳市科学技术协会大讲堂为活动指导单位,由深圳市半导体显示行业协会主办并秉承分享半导体、新材料、显示等行业前沿技术、学术成果的宗旨,为业内人士提供互助合作的创新交流平台。 深圳市半导体显示行业协会执行会长徐世颖主持,他希望通过6场自主创新大讲堂-星火沙龙的举办,就半导体行业企业生产运营管理过程中遇到的技术难点,精准聚焦,挖掘关键寻求突破点;同时为企业及行业的创新有序发展助力。 主讲嘉宾/吉隆洁净总经理黄吉辉(右二) 本场星火沙龙大讲堂主题为《半导体产品制程中的污染控制及环境管理》,分享嘉宾是来自深圳市吉隆洁净技术有限公司总经理黄吉辉。 主讲嘉宾从半导体产品制程工艺良率、半导体工艺环境的污染控制、污染分析与环境污染风险管理、洁净室环境运维管理服务系统与服务案例做了精彩的分享。 您的企业生产工艺环境下的产品良率? A: 如果您一直在诉求产品良率的大幅度提升或改善,吉隆洁净建议: 1)建立环境(工艺及设施环境)一体化运维管理工作体系; 2)以良率提升为宗旨,引进专业环境服务公司实行环境一体化运维管理与外包服务; 3)在环境一体化管理工作推进过程中实现对所有进入洁净车间的原辅材料进行预见性的污染监测与管理(包括但不限于工具、包装物等); 4)甲方检测出的不良产成品的分析报告及不良品检测的样品,要统一交给乙方做进一步的污染物溯源分析工作; 5)乙方一体化服务质量团队与甲方共同制定良率改善目标及工作计划。 半导体(显示、芯片)行业制造过程中的污染会对工艺及品质有哪些严重影响? A: 半导体(显示、芯片)行业制造过程中存在污染时会影响后续的工艺目标实现,严重时会直接造成器件损坏或失效。工艺和环境污染决定了产品的制程良率和产品可靠性。因此, 需要专门立项实现安全的洁净工艺过程与产品的环境风险管理。保障半导体制程中每个步骤有效的实现控制污染,避免污染物影响半导体产品良率和产品性能。 半导体(显示、芯片)行业污染类型主要有哪些? A: 半导体(显示、芯片)行业污染类型主要分为:颗粒物 、金属离子、化学物质 、细菌 、空气中分子污染( AMC )五大类污染物。 半导体行业污染源有哪些? A: 半导体(显示、芯片)生产过程中任何与产品相接触的物质都是潜在的污染源;主要有:人员(工作人员)、设备(厂房设备 )、材料(使用的水、化学溶剂、化学气体) 、环境(空气、化学气体)、包装。 污染分析与环境污染风险管理的关键点有哪些? A: 1)预防措施:包含材料检测、服装检测、样本数据库、风险预评估; 2)运行中监控:包含空间洁净度检测、表面洁净度监测、沉降粒子分析; 洁净室环境运维管理服务系统有哪些? A: 1、环境风险与良率水平的诊断服务(服务A) 半导体行业需要对环境定期诊断评价分析。 检验检测目的:做好事前预防准备,控制良率下降的风险。 2、洁净环境污染应急服务及技术支持(服务B) 污染诊断与污染控制,污染物取样分析,寻找污染源及解决方法。 3、洁净环境的一体化外包服务(服务C) 随后,主讲嘉宾进行了"某工程物理研究院环境监测案例”、“某汽车涂装产品缺陷污物分析案例”解析及洁净室环境安全一体化服务的展示。 最后,参加活动人员围绕“半导体产品制程中的污染控制及环境管理现状和未来展望”等方面进行深度交流和探讨,现场气氛热烈。 下期活动预告 -END-
3)事后分析:包含产品缺陷分析、污染物溯源及改善报告等。
常规清洁、技术清洁、过滤系统管理、无尘服清洗管理、污染物分析与监测、工艺水管理、人员物流管理、危废管理。
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